物镜介绍
波长光电大视野工业显微物镜采用优质光学玻璃材质，结合增透膜工艺，显著提升通光效率。平场复消色差设计，成像细节清晰、对比度高。物镜基于无限共轭光学系统设计，齐焦距离为95mm，用于同轴照明的明场物镜。大视野图像观察，最大可支持到像方直径40mm，便于集成多种附件并适配复杂工况。可广泛应用于半导体领域的精密量检测以及各类工业场景下的高精度视觉分析与质量监控。
产品矩阵
明视场显微物镜
暗视场显微物镜
适用于观察表面上散射和凹凸，采用平场复消色差光学结构，具备高成像对比度与大视野观察能力，最大支持像方直径达40mm。
白光干涉显微物镜
用于表面形貌和几何特征的非接触式测量，采用平场复消色差光学结构，具备大视野观察能力，最大支持像方直径达40mm。
应用领域
半导体制造领域
在该领域，波长显微物镜主要用于缺陷分析、失效定位和工艺监控。
应用场景：
缺陷检测与分类：识别和分类晶圆表面的颗粒、划痕、晶体缺陷等。高分辨率和无颜色伪影确保了缺陷特征的准确识别。
失效分析：在故障芯片中定位短路、断路点。平场特性使得在超大视场内搜索异常区域时，边缘和中心同样清晰。
关键尺寸测量：对集成电路的线宽、孔径等进行亚微米级的精确测量。卓越的像质是测量准确性的基础。
工业检测领域
在工业领域，波长显微物镜用于材料分析、质量控制和无损检测。
应用场景：
材料科学：分析金属、陶瓷、高分子材料的晶粒结构、相组成和缺陷。复消色差校正对于在偏光下观察各向异性材料至关重要。
精密制造：检测精密零部件（如刀具、轴承）的磨损、微裂纹和表面粗糙度。高分辨率能发现早期失效征兆。
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南京波长光电科技股份有限公司
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